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h-LEG & DEAD LEG
· Fore Line과 Pump Inlet 일직선상일 경우 Powder또는 Particle이 낙하될 때 Pump Damage 방지.
· Powder를 Dead-leg에 포집하여 간단하게 제거할 수 있는 구
ANGLE VALVE
· In-Out Orifice가 Vertical로 구성되며, 기체의 유량을 조절하는 Valve.
· 출구측에 Drain이 허용되지 않는 경우에 사용.
· 반도체 공정 등에서 Leak Check Port로 주로 사용.
· 사용목적 및 고객의 NEEDS에 따라 Customize.
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