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STACKER
Pump의 진동을 흡수하며 내진에 대비, 소음방지 및 Enclosure 역할.
Fore Line 지지하고, Pump 및 부대설비를 보호.
Line내 Lay-out을 효과적으로 구현하여 인동선 확보, 작업 동선의 단축, 자동화를 통한 효율성에 기여.
Pump Replace등 효율적인 Service로 Lead Time 단축시켜 생산성 향상에 기여.
Power, PCW, 부대장치를 공급 또는 Fix, System Interface Mount.
INDUSTRIAL VACUUM
· 기술GV(General Vacuum)는 산업전반을 통칭하며, 통상적으로 Semi, FPD의 상대 개념으로 사용.
· 반도체 분야의 선도적인 기술을 일반산업에 접목시켜 품질 및 생산성 향상에 기여.
· Process별 특성에 맞는 최적의 Vacuum System을 설계/제작.
CHAMBER
· 양/음압, 저/고진공 Chamber등 Dimension, Capacity, Mechanism, Demand에 따라 설계/제작.
· 소형의 경우 R&D 목적의 수요가 많으며, 점차 모든 산업에 확대 적용.
· 사용목적 및 고객의 Needs에 따라 Customize.
CUSTOMIZED LIFTER
· 반도체 라인에서 사용되는 Lifter는 용도, 목적, 안전기준 등이 일반 산업용 Lifter와 상이함.
· Line내에서 Pump를 그레이팅 밑으로 내리거나 이동시 사용.
· 구조, 소재, 크기, 용도, 회전 반경, 하중, 고정 및 이동장치, 안전성 등을 고려하여 설계/제작.
· Tower, Lift, Table, Crane Type, 유압식(족동식 및 수동식), 전기식 등
POWER DISTRIBUTION
Product : Power Distribution box
OTHERS
Product : Manifold
TRAP
· 기술Pumping Speed 저하 및 Trouble 원인인 Powder, Fume, Dust를 강제 배기하거나, 축출할 때 사용.
PDM Holder
ACCESSORY
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