STACKER
· Pump의 진동을 흡수하며 내진에 대비, 소음방지 및 Enclosure 역할.
· Fore Line 지지하고, Pump 및 부대설비를 보호.
· Line내 Lay-out을 효과적으로 구현하여 인동선 확보, 작업 동선의 단축, 자동화를 통한 효율성에 기여.
· Pump Replace등 효율적인 Service로 Lead Time 단축시켜 생산성 향상에 기여.
· Power, PCW, 부대장치를 공급 또는 Fix, System Interface Mount.
VACUUM
CHAMBER
· 양/음압, 저/고진공 Chamber등 Dimension, Capacity, Mechanism, Demand에 따라 설계/제작.
· 소형의 경우 R&D 목적의 수요가 많으며, 점차 모든 산업에 확대 적용.
· 사용목적 및 고객의 Needs에 따라 Customizing.
CUSTOMIZED
LIFTER
· 반도체 라인에서 사용되는 Lifter는 용도, 목적, 안전기준 등이 일반 산업용 Lifter와 상이함.
· Line내에서 Pump를 그레이팅 밑으로 내리거나 이동시 사용.
· 구조, 소재, 크기, 용도, 회전 반경, 하중, 고정 및 이동장치, 안전성 등을 고려하여 설계/제작.
· Tower, Lift, Table, Crane Type, 유압식(족동식 및 수동식), 전기식 등.
INDUSTRIAL
VACUUM
· GV(General Vacuum)는 산업전반을 통칭하며, 통상적으로 Semi, FPD의 상대 개념으로 사용.
· 반도체 분야의 선도적인 기술을 일반산업에 접목시켜 품질 및 생산성 향상에 기여.
· Process별 특성에 맞는 최적의 Vacuum System을 설계/제작.
TRAP
· 통상적으로 pump배기단에 설치함.
· abatement를 방해하는 powder, fume, dust등을 포집하여 pumping speed저하을 막고, pump trouble원인을 방지하는 역할.
ANGLE VALVE
· In-Out Orifice가 Vertical로 구성되며, 기체의 유량을 조절하는 Valve.
· 반도체 진공라인의 leak check를 위한 valve로 사용.
· 사용목적 및 고객의 NEEDS에 따라 Customizing
VACUUM COMPONENT
[h- LEG, PAD,
· Fore Line과 Pump Inlet 일직선상일 경우 Powder또는 Particle이 낙하될 때 Pump Damage 방지.
· Powder를 Dead-leg에 포집하여 간단하게 제거할 수 있는 구조.
