Home > Product > SEMICONDUCTOR / FPD Vacuum System > VACUUM COMPONENT
▶Description
· 기술Pumping Speed 저하 및 Trouble 원인인 Powder, Fume, Dust를 강제 배기하거나, 축출할 때 사용.


▶Description
· Vacuum Pump의 고진공, 소형화로 인해서 진공 Pump 자체의 Noise가 심화되고 출력량이 많아지면서 Silencer의 역할이 필수적임.
· 현재 SEMI(소용량) 및 LCD(대용량)용 Silencer가 개발 완료되어 있으며, 어떤 종류의 제품도 개발 및 생산이 가능.
· 설치 및 Maintenance가 용이해야 하며, Back pressure를 방지하면서 Flow를 방해하지 않아야 하고, Compact하고, Cleaning이 용이한 구조.
· 사용목적 및 고객의 NEEDS에 따라 Customize.